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?中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。

?中圖儀器GTS激光跟蹤干涉三維測量儀集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，同時具有μm級別精度、百米工作空間的高性能光電儀器。不僅可以對靜止的空間目標進行高精度三維測量，還可以對運動的目標進行跟蹤測量，是大尺寸精密測量的主要手段。

GTS激光跟蹤儀大尺寸三維測量儀能檢測出各部件行走精度，比如機床導(dǎo)軌直線度，轉(zhuǎn)臺軸向，相互垂直度，徑向跳動等。實際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實測被加工零件尺寸，以此做為機床加工進給量的依據(jù)，此時激光跟蹤儀由檢測設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)楣に囋O(shè)備，用于制造機床加工。

SJ6000激光干涉儀?測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

中圖儀器GTS激光跟蹤檢測儀具有高精度、效率高、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點，測量精度達微米級，不僅可以對靜止的空間目標進行高精度三維測量，還可以對運動的目標進行跟蹤測量，廣泛應(yīng)用于飛機、動車、風(fēng)電葉片、汽車、工業(yè)機器人、輪船、火箭、衛(wèi)星、雷達、水輪機/汽輪機、球磨機、盾構(gòu)機等領(lǐng)域。

GTS激光跟蹤儀測量系統(tǒng)集激光干涉測距技術(shù)、光電檢測技術(shù)、精密機械技術(shù)、計算機及控制技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計算理論于一體，主要用于百米大尺度空間三維坐標的精密測量，是大尺度空間測量中高精度的重要工業(yè)科學(xué)儀器。

加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機床精度檢測和補償?？梢詫⒕€性測量結(jié)果生成誤差補償表，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000國內(nèi)激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量，還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。