VT6000白光干涉共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
NS系列高重復(fù)性大量程臺階儀臺階高度重復(fù)性能低于5A,Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級,且垂直方向動態(tài)比率高,可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠,重復(fù)性好,精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。
中圖國產(chǎn)鎢燈絲掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。
CEM3000掃描式電子顯微鏡是一款臺式掃描電鏡,無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。
中圖儀器國產(chǎn)高靈敏度掃描電鏡搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,中圖臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,具有高空間分辨率。
SEM高精度科研檢測掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
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