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?SuperViewW1三維光學輪廓儀檢測設(shè)備主要對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、腐蝕情況、孔隙間隙、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

?SuperViewW1非接觸三維光學輪廓儀器是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。它能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。

SuperViewW1光學輪廓測量儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。

?中圖儀器3d光學表面輪廓儀檢測儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。主要用于表面形貌紋理，微觀結(jié)構(gòu)分析。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達0.1nm。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預(yù)先配置好分析參數(shù)，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)，實現(xiàn)快速批量測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀設(shè)備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓮V泛應(yīng)用于汽車零部件、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。