chotest國產(chǎn)白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,它以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
CHOTEST中圖儀器SuperViewW1白光干涉三維輪廓儀通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,是一款對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,SuperViewW1白光干涉儀品牌具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。
中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌,廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析。測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉顯微鏡也叫光學(xué)輪廓儀、光學(xué)3D表面輪廓儀、非接觸式粗糙度輪廓儀等,儀器分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,可為樣品表面測量提供快速,便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。
SuperViewW1高精度白光干涉儀對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。
SuperViewW1白光干涉測厚儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數(shù)Z向分辨率:0.1nm;Z向掃描范圍:10.3mm;XY水平位移臺(tái):電動(dòng)手動(dòng)均可調(diào)節(jié)。有自動(dòng)化功能:自動(dòng)單區(qū)域測量、自動(dòng)多區(qū)域測量、多區(qū)域定位自動(dòng)搜索測量、自動(dòng)拼接測量;防撞保護(hù):軟件設(shè)置防撞、硬件傳感器防撞。
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